【瞧我们的前沿科技】12英寸碳化硅衬底实现激光剥离
来源：光明日报
【瞧我们的前沿科技】
光明日报北京3月30日电（记者晋浩天）你是否想过，材料加工竟能如此高效精准？由西湖大学孵化的西湖仪器，日前成功实现12英寸碳化硅衬底激光剥离自动化解决方案，显著降低损耗，提升加工速度，为碳化硅行业降本增效注入强劲动力。
碳化硅，这种性能卓越的材料，禁带宽度大、熔点高、热导率优异，在高温、高压下依然稳定，已成为新能源和半导体产业升级的核心。从电动汽车的快速充电，到光伏发电的高效转换，再到智能电网的可靠运行，碳化硅正驱动多个领域的技术变革。但它的硬度仅次于金刚石，加工难度极大。传统切割如同“锯木”，效率低下、损耗严重，还易导致衬底翘曲，严重制约其大规模应用。
西湖大学仇旻团队凭借在光电领域的深厚积累，成功研发出碳化硅激光剥离技术。这项技术巧妙利用碳化硅的透光性，用激光在材料内部制造数亿个微细“爆破点”，实现晶锭的层层自动剥离。仇旻表示：“相比传统切割，激光剥离定位更准、加工更均匀，出片速度大幅提升，材料损耗降低一半。” 市场前景广阔：预计2027年，全球碳化硅功率器件市场将达67亿美元；而AR智能眼镜以碳化硅为镜片材料，实现性能飞跃，2030年全球市场规模有望突破3000亿美元，开辟新的增长蓝海。
此前，西湖仪器已推出“8英寸导电型碳化硅衬底激光剥离设备”，并于今年1月获“国内首台（套）装备”认定。仇旻指出：“12英寸碳化硅衬底激光剥离设备的问世，将加速碳化硅普及，惠及日常生活。” 想紧跟科技前沿？立即关注我们，探索更多创新突破！
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